氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表

氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH
，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置於被測氣體中時
，其中傳感器RH被加熱
，另一個傳感器RMG用於感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量
，傳感器RH的溫度下降。熱式氣體質量流量計按安裝方式分為：插入式和管段式。

早期的TMF直接將加熱線圈和測溫元件放入流體中與流體直接接觸，是一種接觸式流量計，由(you)於(yu)不(bu)能(neng)解(jie)決(jue)嘴(zui)蝕(shi)和(he)磨(mo)損(sun)以(yi)及(ji)防(fang)爆(bao)等(deng)問(wen)題(ti)，使(shi)它(ta)的(de)工(gong)業(ye)應(ying)用(yong)受(shou)很(hen)大(da)的(de)限(xian)製(zhi)。托(tuo)馬(ma)斯(si)流(liu)量(liang)計(ji)是(shi)這(zhe)種(zhong)流(liu)量(liang)計(ji)的(de)代(dai)表(biao)，主(zhu)要(yao)用(yong)來(lai)測(ce)量(liang)較(jiao)大(da)流(liu)量(liang)的(de)氣(qi)體(ti)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang);到20世紀50年代，人們提出了一種與流體不接觸的邊界層流量計，克服了接觸式流量計的缺點
，但測量結果易受介質參數(如導熱係數、比熱容、粘度等)的影響

，可以用來測量較大的液體流量;到70年代，基於測量流體溫度分布的熱分布型TMF，由you於yu其qi獨du特te的de優you點dian在zai國guo內nei外wai得de到dao了le很hen快kuai的de發fa展zhan，用yong來lai測ce量liang氣qi體ti的de微wei小xiao流liu量liang
，隨sui著zhe科ke技ji的de發fa展zhan，經jing過guo對dui流liu量liang計ji結jie構gou上shang的de重zhong新xin設she計ji，在zai接jie觸chu式shi流liu量liang計ji的de基ji礎chu上shang，人ren們men提ti出chu了le一yi種zhong浸jin人ren型xing的deTMF，也得到了很快的發展，可以用來測量較大管徑的氣體流量。綜上所述
，TMF是一種主要用來測量氣體質量流量的直接式質量流量計。

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