氣體質量流量計控製器的工作原理特征

流量計keyiyongyukongzhigezhongqingjieganzaoqiti，baokuofushixingqitiheteshuqiti
，danduiyushiyongfushixingqitiheteshuqiti，xuyaoqiadangxuanzexinghaohemifengcailiao。yonghuzaidinghuoshi
，xuyaoxianggonghuochangshangteshushuomingshiyongqiti
，yimianyinweixuanxinghuoxuanzemifengcailiaocuowu，zaochengyanzhongsunshi。tongchangzhiliangliuliangkongzhiqijiechugongzuoqitidecaizhiwei316L不鏽鋼、密封材質分為金屬焊接，聚四氟乙烯和普通氟橡膠。質量流量控製器采用金屬焊接密封的MFC原則上可以用於任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對於三溴化硼、三氯化硼
、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬焊接密封的MFC。

質量流量控製器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控製器等部分組成。質量流量控製器傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大後的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再(zai)將(jiang)差(cha)值(zhi)信(xin)號(hao)放(fang)大(da)後(hou)去(qu)控(kong)製(zhi)調(tiao)節(jie)閥(fa)門(men)，閉(bi)環(huan)控(kong)製(zhi)流(liu)過(guo)通(tong)道(dao)的(de)流(liu)量(liang)使(shi)之(zhi)與(yu)設(she)定(ding)的(de)流(liu)量(liang)相(xiang)等(deng)。分(fen)流(liu)器(qi)決(jue)定(ding)主(zhu)通(tong)道(dao)的(de)流(liu)量(liang)。與(yu)質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)製(zhi)器(qi)配(pei)套(tao)的(de)流(liu)量(liang)顯(xian)示(shi)儀(yi)上(shang)設(she)置(zhi)有(you)穩(wen)壓(ya)電(dian)源(yuan),數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。

氣體質量流量計控製器是一種無須溫度
、壓力補償就能方便而且準確地監測在管道中流動的各種氣體、熱式氣體質量流量計是一種新型流量計量、監控儀表。

氣體質量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻(鉑RTD)
，一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被bei置zhi於yu介jie質zhi中zhong時shi，其qi中zhong速su度du傳chuan感gan器qi被bei加jia熱re到dao環huan境jing溫wen度du以yi上shang的de一yi個ge恒heng定ding的de溫wen度du
，另ling一yi個ge溫wen度du傳chuan感gan器qi用yong於yu感gan應ying介jie質zhi溫wen度du。流liu經jing速su度du傳chuan感gan器qi的de氣qi體ti質zhi量liang流liu量liang是shi通tong過guo傳chuan感gan元yuan件jian的de熱re傳chuan遞di量liang來lai計ji算suan的de。氣qi體ti流liu速su增zeng加jia，介jie質zhi帶dai走zou的de熱re量liang增zeng多duo。使shi傳chuan感gan器qi溫wen度du隨sui之zhi降jiang低di。為wei了le保bao持chi溫wen度du的de恒heng定ding，則ze必bi須xu增zeng加jia通tong過guo質zhi量liang流liu量liang控kong製zhi器qi的de工gong作zuo電dian流liu，此ci增zeng加jia的de部bu分fen電dian流liu大da小xiao與yu介jie質zhi的de流liu速su成cheng正zheng比bi。